NILmaterials

Für die Nanoimprint-Lithographie sind das Stempelmaterial, das Imprintmaterial und das Substrat von entscheidender Bedeutung. Das Forschungsprojekt NILmaterials ist ein Projekt im Rahmen des NILaustria-Clusters.

PROFACTOR erforscht in dem Projekt Materialien die sich von den bislang verfügbaren Materialien deutlich abheben. Bisher sind vor allem Materialien am Markt, die auf Ätzbarkeit für die Strukturübertragung oder für optische Eigenschaften (zum Beispiel: Brechungsindex) optimiert sind. PROFACTOR entwickelt in diesem Projekt Materialien, die neuartige Materialeigenschaften und Strukturierungsmöglichkeit bestmöglich kombinieren.

Die Forschung konzentriert sich auf Silesquioxane (SSQ Materialien) mit denen maßgeschneiderte physikalische, chemische oder größenabhängige Eigenschaften realisiert werden können. Die Forschung im Projekt NILmaterials hat innerhalb des NILaustria-Clusters einen höchst integrativen Charakter.

Mit der siliziumbasierten Materialklasse können zumindest zwei neue Stempel-Typen für die Nanoimprint-Lithographie verwirklicht werden: Der erste Typus verfügt über anti-adhäsive Eigenschaften als intrinsische Materialeigenschaft. Der zweite Typus stützt sich auf das Prinzip ionogen-funktionalisierter Oberflächen, mit denen das Nanokontakt-Drucken von Biomolekülen (zum Beispiel: Proteinen) möglich ist.

Förderung:
NILmaterials ist ein Projekt im Rahmen des Clusters NILaustria der Österreichischen Nanoinitiative, die von der Österreichischen Forschungsförderungsgesellschaft (FFG) im Auftrag des BMVIT abgewickelt wird.