RollerNIL

Die großflächige  Nanostrukturierung von Oberflächen ist eine zentrale Herausforderung für die Nanoimprint-Lithographie. Das Forschungsprojekt RollerNIL  hat das Ziel  komplexe optische Strukturen großflächig zu replizieren. Das soll mit Hilfe von Rolle-basierten Nanoimprintverfahren ermöglicht werden.

Forschungsaufgaben sind unter anderem die Herstellung eines Nanoimprint-Masterstempels als auch eine inlinefähige Prozessmesstechnik.

In dem Projekt wird auch mit Simulationen gearbeitet, die Rückschlüsse auf Material- und Prozessanforderungen erlauben sollen.

Projektname:     
Großflächige Roller Nanoimprint Lithographie für optische und life-science Anwendungen

Förderung:     
FFG – 4. Ausschreibung Produktion der Zukunft

Laufzeit:     
04/2014 – 03/2017