Step & Repeat NIL Laborsysteme

Step & Repeat Technologie

Step&Repeat Nanoimprinting (S&R NIL) ist ein semi-automatisches Verfahren für die schnelle und kostengünstige Replikation eines kleinen Stempels.

Dieses Verfahren ist sehr flexibel und kann für eine breite Palette von Strukturgrößen eingesetzt werden, von einigen Nanometern bis zu einigen hundert Mikrometern.

 

Step & Repeat Labor-Geräte

Auf Basis unserer umfangreichen Erfahrungen in der Nanoimprint-Forschung haben wir spezielle Step&Repeat-Geräte für den Laboreinsatz entwickelt.

Diese Geräte sind einfach zu bedienen und ermöglichen eine direkte Prozessbeobachtung.

• Multitool für die Replikation von Mikrostrukturen mit In-situ-Lackauftrag
• Soft-NIL-Stepper für die Replikation von Nanostrukturen auf ein vorbeschichtetes Substrat

 

Die Geräte können an Ihre Anforderungen angepasst werden.

Bei einem praktischen Workshop in unserem Labor können Sie mehr erfahren und einen detaillierten Einblick in alle Funktionen der Tools gewinnen.

Multitool

Das Multitool ermöglicht das präzise und schnelle Vervielfachen von Mikro- und Nanostrukturen, wobei für jeden Imprint der Resist einzeln appliziert wird.

Vorteile

Geringer Platzbedarf. Einfache Bedienung und intuitive Software.

Spezifikation

• 4 Achsen-System
• Substratheizung
• Resist-Dispenser
• Mikroskopkamera
• Hochleistungs-UV-LED-Modul

Soft NIL-Stepper

Für Nanostrukturen, schnell durch einmalige Resist Applikation

Spezifikation

• Bis zu 360 Imprints pro Stunde (materialabhängig)
• Einfache Handhabung und Membranwechsel
• Hochleistungs-UV-LED-Modul für die Aushärtung
• Vakuumtisch zur einfachen Befestigung von Substraten, zum Beispiel:
  • 100mm Wafer
  • 1 Zoll × 1 Zoll Glas
  • Substratgröße is zu Format A5
• Tischbewegung (X-Y-Z): 150mm x 150mm x 70mm
• Stempelgröße bis zu 15mm x 15mm

Anwendungsfelder

• Einsatz in Forschungs- und Entwicklungslabore
• Untersuchung von Standzeit Stempel, Material-eigenschaften
• Herstellung großflächiger Multimaster-Templates
• Herstellung großer Stückzahlen kleiner NIL Bauteile